第206章 芯谷厂房突发静电事故（2 / 2）

「我在监控室看到了。」陈醒的声音异常平静，「人员伤亡？」

「没有。所有人员在警报后立即疏散，只有设备损坏和晶圆损失。」

「原因？」

「强静电场，具体来源还在排查。」梁志远顿了顿，「但陈总，有些情况不正常。静电电压在几分钟内从正常值飙升到五千伏，这不符合任何已知的故障模式。而且……它似乎是从多个点同时产生的，就像整个厂房的接地系统突然失效了。」

电话那头沉默了几秒。

「金秉洙博士在吗？」陈醒问。

「在EUV光源实验室，我这就接过去。」

视频会议系统开启。金秉洙的脸出现在屏幕上，背景是「追光二期」的监控界面。

「金博士，你们的EUV光源系统刚才有没有异常？」梁志远直接问。

金秉洙的脸色很不好看：「有。在静电事故发生的同一时刻，『追光二期』记录到一次强烈的电磁脉冲干扰。不是来自设备内部，而是外部耦合进来的。我们的『起搏器』电极放电电流因此波动了15%，但控制系统及时稳住了。」

「外部电磁脉冲……」梁志远喃喃道，「林总在宝岛发现的电磁扰动？」

「可能，但强度不对。」金秉洙调出数据，「这次干扰的场强比之前监测到的高出两个数量级。而且频率特徵也不同，更像是……人为的。」

这个词让监控室里的空气凝固了。

「人为？」陈醒的声音传来。

「我不敢肯定。」金秉洙谨慎地说，「但干扰的波形有很强的规律性，像是某种调制信号。自然界的电磁扰动通常是随机的。」

梁志远立即调出全厂区的电磁环境监测数据。在事故发生的精确时刻，频谱图上出现了一个明显的尖峰，频率在1.2兆赫兹左右，正是林薇在宝岛发现的那个频率。

但这一次，尖峰的强度高了近百倍。

「陈总，我需要立即进行两件事。」梁志远说，「第一，全面检查全厂接地和防静电系统；第二，对这次电磁干扰事件进行溯源分析。」

「批准。」陈醒的回应简洁有力，「让章晴加入分析团队。另外，事故消息严格控制，对外只说设备故障需要检修。量产计划调整方案，两小时内给我。」

通话结束。梁志远开始组织事故调查组。但他不知道的是，在华夏芯谷三公里外的一栋普通写字楼里，一个伪装成通信基站维护车的设备刚刚关闭。

车厢内，两名技术人员正在拆卸一台高频电磁发射器。

「数据采集完成。」较年轻的技术员看着屏幕上的波形图，「目标厂房的电磁屏蔽效能丶接地系统响应特性丶关键设备的电磁敏感性……所有参数都拿到了。」

年长的技术员小心地将发射器核心部件拆下，装入特制的防护箱：「频率1.2兆赫兹，脉冲调制，峰值场强每米50伏。这个强度足够激发任何处于临界状态的静电积累，但又不会留下明显的破坏痕迹。」

「他们能发现是外部干扰吗？」

「发现又如何？」年长的技术员拉上防护箱的拉链，「电磁环境复杂，干扰源千千万万，可能是隔壁工厂的设备，可能是无线电爱好者，甚至可能是太阳黑子活动。没有直接证据，他们什麽也证明不了。」

「但那台EUV光刻机坏了，晶圆也报废了。」

「这正是目的。」年长的技术员启动车辆，「让他们知道，即使有了自己的晶片工厂，即使掌握了14nm工艺，依然脆弱得不堪一击。一次『意外』的静电事故，就能让整个产线停摆一个月。」

车子缓缓驶离。在他们身后，华夏芯谷的厂房在夕阳下矗立，安静得仿佛什麽也没发生。

但厂房内，梁志远正面临着更棘手的问题。

事故调查组在检查接地系统时发现了一个令人费解的现象：全厂的主接地网电阻完全正常，符合0.5欧姆的设计标准。但接地网上各个点的电位却不一致，有些点之间存在着高达十几伏的电位差。

「这不可能。」接地系统工程师反覆测量，「接地网应该是等电位的，除非……」

「除非有外部电流注入。」章晴的声音从对讲机里传来。她此刻正在数据分析室，面前是事故前后全厂区的所有监控数据。

「梁工，我调取了事故前半小时的电力监控数据。」章晴的声音带着发现线索的兴奋，「发现了一个奇怪的现象：在静电电压开始上升前约五分钟，全厂所有三相负载的电流都出现了微小的丶同步的相位偏移。」

「相位偏移？多大？」

「平均0.3度，持续约两秒，然后恢复正常。」章晴说，「这种偏移会导致三相系统的不平衡度增加，从而在零线上产生额外的谐波电流。而谐波电流如果通过接地系统泄放……」

「就会在接地网上产生电位差！」梁志远明白了，「而电位差就是驱动静电积累的源头。但什麽原因会导致全厂所有负载同步发生相位偏移？」

章晴停顿了一下：「外部电网的扰动？还是……某种针对性的电磁干扰，直接耦合进了我们的供电系统？」

这个推测太大胆，但梁志远无法反驳。所有的线索都指向同一个方向：这不是一次简单的设备故障或操作失误，而是一次精心策划的丶利用电磁物理原理进行的隐蔽攻击。

攻击者甚至不需要进入厂房，不需要接触任何设备。他们只需要在合适的时间丶合适的地点，发射一束合适频率的电磁波。

而华夏芯谷，这个代表着中国半导体自主化最高成就的工厂，就这样在无声无息中，遭受了重创。

梁志远走到窗前。外面，应急维修团队正在忙碌，被损毁的设备部件被小心翼翼地运出，新的备件正在运入。但每个人脸上都带着沉重的表情。

他知道，今晚很多人将无法入眠。而他需要做的，不仅是修复设备，更是要找出防御这种新型威胁的方法。

因为如果对方可以发动一次攻击，就可以发动第二次。

而「深红路线图」上的每一个时间节点，都承受不起第二次这样的「意外」。

夜幕降临，华夏芯谷的灯光亮起。在最大的那栋厂房外墙上，未来科技的标志在夜色中静静发光。那是一个由晶片图案和星辰轨迹组合成的标志，象徵着从微观到宏观的科技征途。

但今夜，在这星辰之下，一场没有硝烟的战争，已经悄然打响。

而在数据分析室里，章晴正对着电脑屏幕上那些复杂的波形图，眉头紧锁。在她的良率建模软体中，一个新的变量被加入了模型：外部电磁干扰强度。

软体开始重新计算。进度条缓慢移动，而结果预测显示，如果这种干扰持续存在，14nm量产的长期良率将永远无法突破75%的生死线。

她需要一个新的模型，一个能够应对不确定性的丶动态的丶自适应的制造过程控制模型。